PAS 5500上市后，ASML的技術優勢得到市場的承認。但是，芯片廠商在選擇光刻機時會考慮多種因素。光刻機技術領先被看成是日本芯片制造成功的一個主要原因，當美國一線廠商將日本企業作為競爭對手時，他們自然會傾向於購買日本光刻度機。美國企業指望用相同的技術打敗對方，在戰略上似乎並不是明知的選擇。ASML在90年代末的市場份額達到37%，主要得益於美國二線廠商和中國臺灣和韓國廠商的訂單。2001年之后，ASML的市場份額逐漸上升到50%，成為市場第一名。促成這一進步的主要是兩項技術：雙工件臺和浸潤式光刻機。